磁控膜玻璃脫膜原因

導(dǎo)致脫膜有以下幾個(gè)因素：原片、水質(zhì)、真空度、清洗機(jī)、工藝氣體、靶材。

　　一、原片因素

　　1.原片存放因素

　　玻璃表面越新鮮，表面活性越大，與膜層的結(jié)合力越強(qiáng)，反之則差。使用存放期過長(zhǎng)的玻璃，由于玻璃表面霉變和附著的污物會(huì)大量增加，而且附著力很強(qiáng)，清洗環(huán)節(jié)很難清除掉，這就造成膜層與基片的結(jié)合力大大降低，從而導(dǎo)致脫膜。建議視季節(jié)采用存放期在一個(gè)月以內(nèi)的制鏡級(jí)或汽車級(jí)浮法玻璃。

　　2.原片切割因素

　　許多原片生產(chǎn)廠家為了提高玻璃的切裁率，在切割刀上注了過多的煤油，這些煤油殘留在原片上，在清洗環(huán)節(jié)難以清除掉，造成脫膜。在采購(gòu)玻璃原片時(shí)，應(yīng)要求無(wú)油切割。若不能無(wú)油切割，應(yīng)在正式清洗前用稀鹽酸或陰離子去垢劑進(jìn)行預(yù)清洗。

　　二、水質(zhì)因素

　　1.水處理設(shè)備

　　水質(zhì)的好壞對(duì)于鍍膜是至關(guān)重要的。去離子水純度應(yīng)控制在電阻率10M歐姆以上。若低于該值，則應(yīng)對(duì)陰陽(yáng)離子交換樹脂進(jìn)行再生，否則，會(huì)因水質(zhì)不純導(dǎo)致原片清洗不凈而脫膜。

　　2.管道和水箱的雜質(zhì)

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